工業(yè)管道工程一般分為兩種,一種為工業(yè)氣體管道工程,一種為工業(yè)化學(xué)品管道工程。
一、工業(yè)氣體管道工程
工業(yè)氣體管道工程是指氣體由不銹鋼管道從氣體儲(chǔ)存裝置輸送到用氣點(diǎn)。多數(shù)科研院所實(shí)驗(yàn)室以及工廠車(chē)間生產(chǎn)線經(jīng)常用到超高純工藝氣體,這些氣體的純度要求大多在99.999%(5N)或以上,因?yàn)檫@些工藝氣體在純度上要求非常高以及部分氣體的不穩(wěn)定與危險(xiǎn)性所以其輸送系統(tǒng)必須是以不銹鋼管道傳輸,切其不銹鋼管件選材上也有不同的要求。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇,若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP 管,經(jīng)電解拋光 (Electro-Polish) 處理,耐腐蝕,表面粗糙度低, Rmax(maximum peak to valley height) 約為 0.3μm 以下,其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié) (Bright Anneal) 處理之 316L BA 管的 0.8μm ,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。 316L BA 管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體,如 GN2 、 CDA 。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的 AP 管 (Annealing & Picking) ,則用于不做為供氣管路的雙套外管。
二、工業(yè)化學(xué)品管道工程
在集成電路芯片和液晶顯示器生產(chǎn)的行業(yè)中,生產(chǎn)工藝需用的各種無(wú)機(jī)化學(xué)品藥液(主要包括各類(lèi)酸、堿、鹽等)需要通過(guò)管道輸送到工藝設(shè)備,這些化學(xué)品藥液中具有強(qiáng)腐蝕性、易燃性、易爆性和劇毒性等危害,為防止化學(xué)品管道的輸送過(guò)程對(duì)人、設(shè)備造成傷害以及對(duì)環(huán)境造成的污染,保證電子工業(yè)廠房化學(xué)品管道安全有效輸送,要求此類(lèi)管采用雙套管的施工方法,而傳統(tǒng)的雙套管施工工藝是透明PVC管內(nèi)穿PP管或PVDF管的硬管施工方法。
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